[3판]플라즈마 전자공학

 

• · 지은이
• 정진욱
  • · 역자
  • · 발행일
  • 2021-08-25
  • · 가격
  • 26,000 원
• • · ISBN
  • 978-89-363-2212-0 (93560)
• • · 패키지

4x6배판 / 2도 / 320쪽

 

 

반도체 디스플레이 공정뿐만 아니라 공학 전반에 플라즈마가 응용되고 있지만, 플라즈마와 RF에 대한 기초 개념이 충실한 책은 아직 없었다. 이 책은 공학전반에 응용되고 있는 플라즈마에 대한 관심과 필요를 충족시키기 위해 집필된 것으로, 학부 4학년이나 대학원생들[물리, 화학, 재료공학, 전기공학 등]을 대상으로 하였으며, 풍부한 그림과 각 장 뒤의 질의/응답 코너에서 플라즈마 관련 문제들을 다루어 독자들에게 실용적인 지식을 제공하고자 하였다. 이번 3판에서는 플라즈마 소스 그리고 연습문제 등을 수정하였고, 플라즈마 표면반응 부분을 추가하였다. 이 책은 또한 플라즈마를 사용하는 공정 엔지니어에게 플라즈마와 RF에 대한 입문적인 내용과 직관을 제공한다.

---